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公司地址:河北石家莊市橋西區(qū)塔談國際
設計及施工內(nèi)容
該項目涉及設計施工范圍有彩鋼板隔斷裝修工程、凈化通風風調系統(tǒng)工程、車間排風系統(tǒng)工程、配電系統(tǒng)工程、工藝管道工程、給排水工程
設計規(guī)范及依據(jù)
業(yè)主提供的圖紙和技術文件及現(xiàn)楊勘察資料
《河北潔凈廠房設計規(guī)范》
《電子工業(yè)沽凈廠房設計規(guī)范》
《沽凈廠房施工與驗收規(guī)范》
《金屬面巖棉、礦渣巖棉夾芯板》
《建筑設計防火規(guī)范》
《潔凈廠房建筑構造》
潔凈室系統(tǒng)技術參數(shù)
1、壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;
2、平均風速:0.3-0.5m/s(百級);
3、噪聲≤65dB(A);
4、新風補充量是總送風量的10%-30%;
5、照度300LX;
6、溫度:20-26 度(車間),溫度:12-23度(測試)
7、濕度:50-70%RH(車間),濕度40-85%RH(測試)
8、潔凈度等級:百級-30萬級用于測試區(qū)域,千級-30萬級用于生產(chǎn)制造區(qū)域
9、ESD也是半導體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容,靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設備造成損害,還可能引起硅片表面塵粒吸附,影響產(chǎn)品的良率。
半導體石家莊凈化車間設計及注意事項
1、半導體凈化無塵車間內(nèi)部要確保塵埃粒子只出不進,因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風機將經(jīng)凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕,空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統(tǒng)使用。鼓風機加壓多久,空調就得開多久。
3、所有經(jīng)凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主,因此,凈化河北無塵車間室內(nèi)空間設計或機臺擺放應避免突兀,使塵埃、細菌等在無塵凈化車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至程度。
4、半導體無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工以及上述的重點難點外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統(tǒng)及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學品供應系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風和排氣系統(tǒng)及其處理設備的安裝、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設備及其配管配線的安裝等。