無塵室的溫濕度主要是根據(jù)客戶的加工工藝要求而定，在滿足加工工藝要求的情況下，更要考慮到人的舒服。由于對(duì)空氣清潔度的要求越來越高，工藝要求溫度和濕度越來越高。無塵室的溫濕度主要是根據(jù)客戶的加工工藝要求而定，在滿足加工工藝要求的情況下，更要考慮到人的舒服。由于空氣清潔度要求的提高，工藝過程對(duì)溫度和濕度的要求越來越高，需要達(dá)到一定的溫度和濕度等級(jí)。比如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，對(duì)作為掩膜材料的硅片和玻璃的熱膨脹系數(shù)的要求差別越來越小。硅片直徑100um，溫度升高1度，造成0.24um線性膨脹，因此一定要有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般要低，因?yàn)槿顺龊购?，產(chǎn)品會(huì)受到污染，尤其是半導(dǎo)體車間怕鈉，這車間溫度不宜超過25度。潮濕會(huì)引起更多的問題。當(dāng)相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻管壁會(huì)結(jié)露，如果準(zhǔn)確設(shè)備或線路發(fā)生故障，會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度50%時(shí)容易發(fā)生銹蝕。無塵室的溫濕度控制具體有哪些措施？但是，對(duì)大多數(shù)清潔空間來說，為了防止外界污染的侵入，必使內(nèi)部壓力(靜壓力)高于外部壓力。維持壓差應(yīng)一般符合下列原則：1、在潔凈度等級(jí)高的場(chǎng)所，壓力比在鄰近的潔凈度等級(jí)低的場(chǎng)所高。2、兩間相通的潔凈室之間的門應(yīng)向高潔凈度房間敞開。3、潔凈室的壓力比非潔凈室高。壓差的維持依賴于新風(fēng)量，新風(fēng)量可以補(bǔ)償在此壓差下從空隙中漏出的風(fēng)量。因此，壓差的物理含義是阻力，即通過無塵室各種縫隙的漏風(fēng)(或滲漏)。對(duì)亂流潔凈室由于主要依靠空氣的稀釋作用減輕室內(nèi)污染程度，因此主要采用換氣次數(shù)概念，而不是直接采用流速概念，但對(duì)室內(nèi)氣流流速也有以下要求：1、送風(fēng)口出口氣流速度不能太大，與單純的空調(diào)房相比，需要較快的速度衰減和較大的擴(kuò)散角度。2、吹過水平面的氣流速度(如側(cè)送時(shí)的回流速度)不應(yīng)過大，以免使表面顆粒重新進(jìn)入到氣流中，造成再污染，這種速度一般不應(yīng)過大，0.2m/s。